提高等离子体反应均匀性的等离子体反应器

摘要

本实用新型公开了一种提高等离子体反应均匀性的等离子体反应器，包括卡盘、介电窗口、第一感应线圈、第一电源和第二电源，所述介电窗口位于卡盘的上方并与卡盘形成反应腔室，所述第一感应线圈位于介电窗口之上，所述卡盘接第一电源，第一感应线圈接第二电源，还包括第二感应线圈和第三电源，第二感应线圈设置介电窗口的上方并且位于晶圆两侧边缘的上方，第二感应线圈接第三电源。通过增设第二感应线圈和第三电源，第二感应线圈设置介电窗口的上方并且位于晶圆两侧边缘的上方，所述第二感应线圈接第三电源，该第二感应线圈可以增强晶圆边缘上方的感应电场强度，使得反应腔室内各处的等离子体密度相当，有效提高了晶圆各处等离子体反应的均匀性。

主权项

一种提高等离子体反应均匀性的等离子体反应器，包括：用于承载晶圆的卡盘、介电窗口、第一感应线圈、第一电源和第二电源，所述介电窗口位于所述卡盘的上方并与所述卡盘形成反应腔室，所述第一感应线圈位于所述介电窗口之上，所述卡盘接所述第一电源，所述第一感应线圈接所述第二电源，其特征在于，还包括第二感应线圈和第三电源，所述第二感应线圈设置所述介电窗口的上方并且位于所述晶圆两侧边缘的上方，所述第二感应线圈接所述第三电源。