阈值电压测量方法及系统

摘要

本发明提出阈值电压测量方法及系统，以提高测量的阈值电压的准确性，进而提高NBTI测试的准确性。该方法包括：获得半导体器件的亚阈值斜率；对所述器件施加应力；在阈值测量时间点，测量所述器件的线性漏电流；根据所述亚阈值斜率及线性漏电流值，计算阈值测量时间点的阈值电压；其中测量线性漏电流的步骤包括：撤销该应力；在所述器件上连接测试电压；及测量所述器件在测试电压下的线性漏电流。

主权项

一种半导体器件的阈值电压测量方法，其特征在于，包括：获得半导体器件的亚阈值斜率；对所述器件施加应力；在阈值测量时间点，测量所述器件的线性漏电流；根据所述亚阈值斜率及线性漏电流值，计算阈值测量时间点的阈值电压；其中测量线性漏电流的步骤包括：撤销该应力；在所述器件上连接测试电压；及测量所述器件在测试电压下的线性漏电流；其中，所述获得半导体器件的亚阈值斜率，具体包括：在对所述器件施加应力前，测量所述器件在扫描栅电压下的第一组线性漏电流；在测量完所有阈值测量时间点的线性漏电流后，在未对器件施加应力的情况下，测量所述器件在扫描栅电压下的第二组线性漏电流；根据第一组及第二组线性漏电流计算所述器件的亚阈值斜率。