| 发明名称 | 成膜装置 | ||
| 摘要 | 该成膜装置(10)包括：成膜室(11)，在重力方向上具有上部(22)，以基板(W)的被成膜面与重力方向平行的方式配置所述基板(W)；电极单元(31)，可装卸地设置于所述成膜室(11)，并具有被施加电压的平板状的阴极(75)以及与所述阴极(75)分开并对置配置的阳极(67)；装卸用轨道(41)，设置在所述成膜室(11)的所述上部，并沿着从所述成膜室(11)引出所述电极单元(31)的方向设置，用于引导所述电极单元(31)。 | ||
| 申请公布号 | CN102473608A | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201080025630.4 | 申请日期 | 2010.07.28 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 清水康男;森胜彦;松本浩一;冈山智彦;森冈和;播磨幸一;冈嶋邦彦 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 杨晶;王琦 |
| 主权项 | 一种成膜装置，其特征在于，包括：成膜室，在重力方向上具有上部，以基板的被成膜面与重力方向平行的方式配置所述基板；电极单元，可装卸地设置于所述成膜室，并具有被施加电压的平板状的阴极以及与所述阴极分开并对置配置的阳极；装卸用轨道，设置在所述成膜室的所述上部，并沿着从所述成膜室中引出所述电极单元的方向设置，用于引导所述电极单元。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||