硅片重金属污染测试参考片修复再生方法和修复再生溶液

摘要

本发明涉及一种硅片重金属污染测试参考片的修复再生溶液，包括A溶液和D溶液，A溶液是30wt％的过氧化氢，D溶液是十二水硫酸铝钾在H2SO4中的溶解液，其中100mlH2SO4中溶解有0.15～0.21g十二水硫酸铝钾，还涉及一种硅片重金属污染测试参考片的修复再生溶液，包括B溶液，B溶液是氟化氨和氢氟酸的混合液，其中1000ml氟化氨中混合有140～200ml氢氟酸，还涉及一种硅片重金属污染测试参考片的修复再生溶液，包括C溶液，C溶液是氢氟酸的水溶液，其中1000ml水中加入有230～300ml氢氟酸，还提供了相关修复再生方法，本发明设计独特，操作简便，效果显著，能解决测试参考片污染后的再处理利用问题，充分满足正常测试使用，而且能够大大降低企业的测试和制造成本，适于大规模推广应用。

主权项

一种硅片重金属污染测试参考片的修复再生溶液，其特征在于：包括A溶液和D溶液，所述A溶液是30wt％的过氧化氢，所述D溶液是十二水硫酸铝钾在H2SO4中的溶解液，其中100ml所述H2SO4中溶解有0.15～0.21g所述十二水硫酸铝钾。