发明名称 |
堆叠的半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本申请公开了一种堆叠的半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括半导体衬底,以及位于半导体衬底上的多个层面的晶片组件,其中,每一层面的晶片组件包括有源部件和键合部件,其中,有源部件和键合部件分别包括彼此垂直地对齐的贯穿导电通道,使得每一个层面的有源部件利用贯穿导电通道与下一层面/上一层面的有源部件电连接。该半导体器件及其制造方法可以用作FEOL的后继工艺或包含在半导体芯片的封装工艺中,以提供高集成度和高可靠性的三维半导体器件。 |
申请公布号 |
CN102468284A |
申请公布日期 |
2012.05.23 |
申请号 |
CN201010540727.0 |
申请日期 |
2010.11.10 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
梁擎擎;钟汇才;赵超;朱慧珑 |
分类号 |
H01L25/065(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L23/535(2006.01)I;H01L21/98(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I |
主分类号 |
H01L25/065(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
王波波 |
主权项 |
一种堆叠的半导体器件,包括:半导体衬底,以及位于半导体衬底上的多个层面的晶片组件,其中,每一层面的晶片组件包括有源部件和键合部件,其中,有源部件和键合部件分别包括彼此垂直地对齐的贯穿导电通道,使得每一个层面的有源部件利用贯穿导电通道与下一层面/上一层面的有源部件电连接。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |