低压和高压接近式传感器

摘要

用于表面测量的流体接近式传感器具有带有测量喷嘴(205)的测量腔(210)、带有参考喷嘴(225)的参考腔(220)以及在参考腔和测量腔之间形成界面的隔膜(215)。包围测量喷嘴和参考喷嘴的护罩(280)提供了在护罩和被测量的工作表面(290)之间的周边间隙(295)。通过将局部真空供给装置或局部流体供给装置连接至护罩，护罩内部压强可以被升高或降低，因此接近式传感器的增益-频率操作体系被优化。可以通过光学、电容或电感装置(275)感测隔膜的响应于差压变化的移动。

主权项

一种设备，包括：测量腔，包括第一入口和测量喷嘴，所述测量喷嘴接近工作表面；参考腔，包括第二入口和参考喷嘴，所述参考喷嘴接近参考表面；隔膜，配置成对施加至其上的压差具有响应，其中所述隔膜形成所述测量腔和所述参考腔之间的界面；和护罩，配置成在所述工作表面被测量时基本上包围所述测量喷嘴和所述参考喷嘴。