处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置

摘要

本发明涉及一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，在一废气处理槽顶部设一入口头座，该入口头座内设一废气通道，连通于外界一废气供应端与废气处理槽之间，导引废气进入废气处理槽，且废气通道外围间隔设置二隔板，所述隔板之间形成一点火腔室，且所述隔板上分别形成连通外界一燃气供应端、点火腔室与废气处理槽的复数斜孔，导引燃气经由点火腔室漩涡进入废气处理槽，期间接受点火腔室内一点火器点燃而生成漩涡火焰，燃烧进入废气处理槽的废气，并引动废气漩涡至废气处理槽的水幕上。

主权项

一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，在一废气供应端及一燃气供应端之间设一入口头座，且该入口头座位于一废气处理槽顶部，该废气处理槽内壁形成一外层水幕，其特征在于，该入口头座内配置包含有：一废气通道，连通于该废气供应端与该废气处理槽之间，以导引废气进入该废气处理槽；一上层隔板与一下层隔板，分别间隔于该废气通道外围与入口头座内壁之间，该废气通道外围、入口头座内壁、上层与下层隔板之间形成一点火腔室；复数上层斜孔，呈漩涡状分布形成于该上层隔板上，而围绕于该废气通道外围，且所述上层斜孔连通于该燃气供应端与点火腔室之间，以导引燃气漩涡进入该点火腔室；一点火器，植设于该点火腔室中，点燃该点火腔室内的燃气形成漩涡火焰，以加温该废气通道内的废气；及复数下层斜孔，呈漩涡状分布形成于该下层隔板上，而围绕于该废气通道外围，且所述下层斜孔连通于该点火腔室与该废气处理槽之间，以导引该火焰漩涡进入该废气处理槽，燃烧自该废气通道进入该废气处理槽的废气，并引动该废气漩涡至该水幕上。