发明名称 |
铸型固定用胶粘片及铸型固定用胶粘带以及微细结构的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种铸型固定用胶粘片,其含有侧链结晶性聚合物作为主成分。所述侧链结晶性聚合物在低于熔点的温度下结晶化且在所述熔点以上的温度下显示流动性,同时,所述熔点+10℃下的储存弹性模量G’为1×102~1×105Pa。所述铸型固定用胶粘片在基材膜的两面上设置有胶粘剂层,至少铸型侧的胶粘剂层由所述胶粘片构成。使用所述胶粘片制造微细结构的方法包含:经由所述胶粘片将铸型固定在底座上的工序;用被固定的铸型对由固化性树脂组合物构成的被膜的表面进行加压来转印铸型的微细图案的工序;使转印有微细图案的被膜进行固化,得到微细结构的工序。 |
申请公布号 |
CN102470603A |
申请公布日期 |
2012.05.23 |
申请号 |
CN200980160028.9 |
申请日期 |
2009.10.27 |
申请人 |
新田股份有限公司;兵库县 |
发明人 |
仲野真一;河原伸一郎;松井真二;冈田真 |
分类号 |
B29C59/02(2006.01)I;B29C33/30(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I;C09J133/04(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
B29C59/02(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
朴秀玉 |
主权项 |
一种铸型固定用胶粘片,其特征在于,所述铸型固定用胶粘片含有侧链结晶性聚合物作为主成分,所述侧链结晶性聚合物在低于熔点的温度下结晶化且在所述熔点以上的温度下显示流动性,并且在所述熔点+10℃下的储存弹性模量G’为1×102~1×105Pa。 |
地址 |
日本国大阪府 |