| 发明名称 | 零标记曝光的检测方法及系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供了零标记曝光检测方法及系统，以实现零标记曝光的检测，该方法包括：获得未进行零标记曝光的晶圆的第一零标记信号指数；对该晶圆的零标记进行曝光；获得曝光后该晶圆的第二零标记信号指数；比较第一零标记信号指数及第二零标记信号指数，得到信号指数差额作为零标记检测值；比较零标记检测值与零标记标准值，并在零标记检测值小于零标记标准值时，确定该零标记的曝光不合格。 | ||
| 申请公布号 | CN101900946B | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN200910052191.5 | 申请日期 | 2009.05.27 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 袁文勋;邹渊渊;梁国亮 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种零标记曝光的检测方法，包括：获得未进行零标记曝光的晶圆的第一零标记信号指数；对该晶圆的零标记进行曝光；获得曝光后该晶圆的第二零标记信号指数；比较第一零标记信号指数及第二零标记信号指数，得到信号指数差额作为零标记检测值；比较零标记检测值与零标记标准值，并在零标记检测值小于零标记标准值时，确定该零标记的曝光不合格；其中，零标记信号指数用于反映零标记的清晰度，指数值越大说明零标记越清晰。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||