多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩，包括套筒外管（1）、套筒内管（2）、套筒封盖（3）、硅烷导气管（4）、导热油入口管（9）、导热油出口管（11）、中心管（5）、套筒夹层导热油管（6）、支撑板（7）和硅烷进气管（10），套筒外管（1）与其对应的套筒内管（2）同轴设置，分别组成第一套筒、第二套筒、第三套筒和第四套筒，硅烷导气管（4）将中心管（5）与所述四件套筒的夹层相连通，在中心管（5）中安装的导热油入口管（9）一端与第一套筒的夹层连通，第一套筒的夹层与第二套筒的夹层和第三套筒的夹层之间通过套筒夹层导热油管（6）连通；同理，第二套筒的夹层和第三套筒的夹层与第四套筒的夹层通过套筒夹层导热油管（6）连通。本实用新型控制硅棒表面温度效果好。

主权项

一种多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩，其特征在于：所述小钟罩包括套筒外管（1）、套筒内管（2）、套筒封盖（3）、硅烷导气管（4）、导热油入口管（9）、导热油出口管（11）、中心管（5）、套筒夹层导热油管（6）、支撑板（7）、密封板（12）和硅烷进气管（10），所述套筒外管（1）与套筒内管（2）均有四件，每件套筒外管（1）均与其对应的套筒内管（2）同轴设置，顶部用套筒封盖（3）密封，分别组成第一套筒（15）、第二套筒（16）、第三套筒（17）和第四套筒（18），并与中心管（5）共同固定在支撑板（7）上，所述第一套筒（15）、第二套筒（16）、第三套筒（17）和第四套筒（18）布置于中心管（5）的外围，所述中心管（5）顶部封闭，中心管（5）与四件套筒之间设置若干硅烷导气管（4），若干硅烷导气管（4）将中心管（5）与所述四件套筒的夹层相连通，在中心管（5）中安装的导热油入口管（9）一端与第一套筒的夹层连通，第一套筒的夹层与第二套筒的夹层和第三套筒的夹层之间通过套筒夹层导热油管（6）连通，其中，该套筒夹层导热油管（6）一端在第一套筒的夹层的顶部，另一端在第二套筒的夹层或第三套筒的夹层的底部；同理，第二套筒的夹层和第三套筒的夹层与第四套筒的夹层通过套筒夹层导热油管（6）连通，其中，该套筒夹层导热油管（6）一端在第二套筒的夹层或第三套筒的夹层的顶部，另一端在第四套筒的夹层的底部，第四套筒的夹层与在中心管（5）中安装的导热油出口管（11）一端连通，硅烷进气管（10）连接于中心管（5）底部，导热油入口管（9）和导热油出口管（11）与硅烷进气管（10）通过密封板（12）与中心管（5）底部密封。