用于板式PECVD设备的特气管道

摘要

本实用新型公开一种用于板式PECVD设备的特气管道，包括第一横管、第二横管和第三横管，所述第二横管的两端分别通过第一竖管和第二竖管与所述第一横管两端之间的管体连通，所述第三横管的一端通过第三竖管与所述第二横管两端之间的管体连通，在所述第一横管临近所述第一竖管的一端与所述第一竖管之间的所述第一横管管体上至少设置有4个气孔，在所述第一横管临近所述第二竖管的一端与所述第二竖管之间的所述第一横管管体上也至少设置有4个所述气孔，在所述第一竖管与所述第二竖管之间的所述第一横管管体上设置有1～9个所述气孔。本实用新型的特气管道用于板式PECVD设备可以通过功率和占空比来补偿，从而实现了可以单独调节，能够有效降低膜厚极差。

主权项

用于板式PECVD设备的特气管道，包括第一横管(1)、第二横管(2)和第三横管(3)，所述第二横管(2)的两端分别通过第一竖管(4)和第二竖管(5)与所述第一横管(1)两端之间的管体连通，所述第三横管(3)的一端通过第三竖管(6)与所述第二横管(2)两端之间的管体连通，其特征在于，在所述第一横管(1)临近所述第一竖管(4)的一端与所述第一竖管(4)之间的所述第一横管(1)管体上至少设置有4个气孔(7)，在所述第一横管(1)临近所述第二竖管(5)的一端与所述第二竖管(5)之间的所述第一横管(1)管体上也至少设置有4个所述气孔(7)，在所述第一竖管(4)与所述第二竖管(5)之间的所述第一横管(1)管体上设置有1～9个所述气孔(7)。