发明名称 |
曝光灯组与曝光机 |
摘要 |
本发明公开了一种曝光灯组及曝光机,曝光灯组包含管状光源、内水套、外水套与管状滤光器。内水套套设于管状光源外。外水套套设于内水套外,使得内水套与外水套之间形成一空间。管状滤光器套设于内水套与外水套之间。管状滤光器的周壁表面的面积,大于该管状滤光器的外径圆周与长度的乘积。本发明能提供足够的热交换面积,以利冷却系统快速地带走管状滤光器的热量。 |
申请公布号 |
CN102096298B |
申请公布日期 |
2012.05.23 |
申请号 |
CN201010623276.7 |
申请日期 |
2010.12.27 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
黄彦杰;周上杰;许咏政 |
分类号 |
G03B27/54(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03B27/54(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
梁挥;祁建国 |
主权项 |
一种曝光灯组,其特征在于,包含:一管状光源;一内水套,套设于该管状光源外;一外水套,套设于该内水套外,使得该内水套与该外水套之间形成一空间;一管状滤光器,套设于该内水套与该外水套之间,该管状滤光器的周壁表面的面积,大于该管状滤光器的外径圆周与长度的乘积。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |