| 发明名称 | 一种管式PECVD防撞设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种管式PECVD防撞设备，包括机械抓手（1）和暂存区（3），其特征是：在暂存区（3）内安装石墨舟检测开关（4），石墨舟检测开关（4）与远程装置（5）连接。本实用新型的一种管式PECVD防撞设备，可以检测管式PECVD的暂存区内是否存在石墨舟，避免石墨舟撞毁。 | ||
| 申请公布号 | CN202226918U | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201120342974.X | 申请日期 | 2011.09.14 |
| 申请人 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 发明人 | 陈辉;胡东明;周天贤 |
| 分类号 | C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240 | 代理人 | 达晓玲;詹世平 |
| 主权项 | 一种管式PECVD防撞设备，包括机械抓手（1）和暂存区（3），其特征是：在暂存区（3）内安装石墨舟检测开关（4），石墨舟检测开关（4）与远程装置（5）连接。 | ||
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市新桥镇工业园区 | ||