半导体元件

摘要

本发明是有关于一种半导体元件，包含：一第一MOM电容器；一第二MOM电容器直接位于第一MOM电容器上方且垂直重叠在第一MOM电容器上，其中第一与第二MOM电容器均包含多个平行电容器手指；一第一与一第二端点电性耦合至第一MOM电容器；以及一第三与一第四端点电性耦合至第二MOM电容器。第一、第二、第三与第四端点设置于各自的晶圆的表面。藉此本发明的半导体元件可测量出特定金属层所造成的工艺变化，且可有效缩减MOM电容器设计工具所占据的晶片面积。

主权项

一种半导体元件，其特征在于其包含：一第一MOM电容器；一第二MOM电容器，直接位于该第一MOM电容器上方且垂直重叠在该第一MOM电容器上，其中每一该第一MOM电容器与该第二MOM电容器包含多个平行电容器手指；一第一端点与一第二端点，电性耦合至该第一MOM电容器；以及一第三端点与一第四端点，电性耦合至该第二MOM电容器，其中该第一端点、该第二端点、该第三端点与该第四端点设置于各自的一晶圆的一表面。