| 发明名称 | 氘氧基掺杂的二氧化硅玻璃、光学部件和光刻系统及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭示了OD-掺杂的合成二氧化硅玻璃，它能够用于在约低于300纳米下进行光刻的光学元件中。发现OD-掺杂的合成二氧化硅玻璃的偏振引发的双折射值显著低于具有相同OH浓度的非OD-掺杂的二氧化硅玻璃。本文还揭示了制备OD-掺杂的合成二氧化硅玻璃的方法，包含所述玻璃的光学部件，以及包含所述光学部件的光刻系统。所述玻璃在大约193纳米具有特别低的偏振引发的双折射，因此特别适用于浸没光刻系统。 | ||
| 申请公布号 | CN101356125B | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN200680050482.5 | 申请日期 | 2006.11.01 |
| 申请人 | 康宁股份有限公司 | 发明人 | D·C·布克宾德;R·M·菲亚克;U·纽科奇 |
| 分类号 | C03C3/06(2006.01)I;C03C4/00(2006.01)I;C03B19/06(2006.01)I;C03B19/14(2006.01)I | 主分类号 | C03C3/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 白益华 |
| 主权项 | 一种OD‑掺杂的合成二氧化硅玻璃材料，其能够用于在低于300纳米的波长下操作的光刻装置的光刻辐射光路中，所述玻璃材料包含OD和任选的OH，其中n(OD)/(n(OD)+n(OH))之比高于0.5。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||