基板支承装置、基板处理装置及基板支承方法

摘要

本发明提供一种基板支承装置、基板处理装置及基板支承方法，能够确保托盘保持的可靠性及动作的可靠性，提高生产性。基板支承装置具有：用于搭载基板(12)的托盘(8)；用于在托盘为铅垂姿态的状态下保持托盘径向两端部的托盘两端保持机构；用于保持托盘中心部以使托盘能够旋转的托盘保持机构(13)；用于使装置主体移动的移动机构(11)。托盘两端保持机构从托盘的板厚方向两侧把持托盘径向两端部，在移动过程中，托盘两端保持机构保持托盘；在从托盘两端保持机构向托盘保持机构交接时，由两保持机构保持托盘，在基板处理时，由托盘保持机构保持托盘的中心部以使托盘能够旋转，解除由托盘两端保持机构进行的保持。

主权项

一种基板支承装置，其特征在于，具有：托盘，其用于搭载1个以上基板；托盘两端保持机构，其配置在支承装置主体上，用于在所述托盘的基板搭载面为铅垂姿态的状态下保持所述托盘的径向两端部；托盘中央保持机构，其配置在所述托盘的搭载面的中心部，用于以使托盘能够旋转的方式保持该托盘的中心部；以及用于使所述支承装置主体移动的移动机构，所述托盘两端保持机构是从所述托盘的板厚方向两侧把持所述托盘的径向两端部的机构，在所述装置主体的移动过程中，该托盘两端保持机构保持所述托盘，在由所述托盘两端保持机构进行的保持和由所述托盘中央保持机构进行的保持之间进行过渡时，由两保持机构保持所述托盘，在基板处理时，由所述托盘中央保持机构以使托盘能够旋转的方式保持所述托盘的中心部，解除由所述托盘两端保持机构进行的保持。