一种磁控溅射均匀加热装置

摘要

本实用新型属于加热装置技术领域，公开了一种磁控溅射均匀加热装置。其主要技术特征为：包括温度控制仪、带有加热丝的底座、热电偶、匀热板和玻璃基片，所述的加热丝由相互独立的内圈加热丝和外圈加热丝构成，内圈加热丝和外圈加热丝分别与各自的温度控制仪、热电偶相连接。本实用新型所提供的一种磁控溅射均匀加热装置，内圈加热丝和外圈加热丝分别独立加热，减小了内外圈的温度差，克服了单根加热丝内外圈散热速率不同使得玻璃基片中心的温度高于玻璃基片边缘的温度，造成薄膜厚度的不均匀的问题。

主权项

一种磁控溅射均匀加热装置，包括温度控制仪、带有加热丝的底座、热电偶、匀热板和玻璃基片，其特征在于：所述的加热丝由相互独立的内圈加热丝和外圈加热丝构成，内圈加热丝和外圈加热丝分别与各自的温度控制仪、热电偶相连接。