光刻用共聚物及其评价方法

摘要

提供不用实际制备光刻用组合物也可以评价含有光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性的方法。根据将光刻用共聚物溶解在溶剂中制备测试溶液的工序，及将所述测试溶液中的凝胶状物质分离的工序，及求出所述凝胶状物质中结构单元的组成比减去所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的差相对于所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的比例表示的组成比变化率的工序，以及所述组成比变化率，评价含有所述光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性。

主权项

一种光刻用共聚物的评价方法，包括将光刻用共聚物溶解在溶剂中制备测试溶液的工序(i)，将所述测试溶液中的凝胶状物质分离的工序(ii)，求出所述凝胶状物质中结构单元的组成比减去所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的差相对于所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的比例所表示的组成比变化率的工序(iii)，以及根据所述组成比变化率，评价含有所述光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性的工序(iv)。