真空设备

摘要

一种真空设备，适于提供多个腔室的真空环境且包括多个抽气单元及第三管路单元。每一抽气单元连接一腔室，且包括低真空抽气装置、至少一高真空抽气装置、第一管路单元及第二管路单元。高真空抽气装置设于低真空抽气装置与对应的腔室间。第一管路单元连接高真空抽气装置与低真空抽气装置且设有至少一第一阀件。第二管路单元连接对应的腔室与第一管路单元且设有第二阀件。第二管路单元与第一管路单元的连接处位于第一阀件与低真空抽气装置间。第三管路单元连接这些第一管路单元。第三管路单元设有至少一第三阀件，位于相邻二第一管路单元间。

主权项

一种真空设备，适于提供多个腔室内的真空环境，该真空设备包括：多个抽气单元，每一抽气单元连接至该些腔室其中之一，每一抽气单元包括：一低真空抽气装置；至少一高真空抽气装置，设置于该低真空抽气装置与对应的该腔室之间，并连接至对应的该腔室；一第一管路单元，连接至该高真空抽气装置与该低真空抽气装置，且该第一管路单元设有至少一第一阀件；一第二管路单元，连接至对应的该腔室与该第一管路单元，该第二管路单元与该第一管路单元的连接处位于该至少一第一阀件与该低真空抽气装置之间，且该第二管路单元设有一第二阀件；以及一第三管路单元，连接该些抽气单元的该些第一管路单元，其中该第三管路单元设有至少一第三阀件，每一第三阀件位于相邻的二第一管路单元之间。