干法硅片自动分离机构

摘要

本实用新型涉及一种干法硅片自动分离机构包括支架、支杆、风刀体、喷嘴体、密封圈、螺母、喷头、喷头环；所述喷嘴体、支杆分别旋入风刀体上，密封圈装入喷嘴体凹孔内，所述风刀体上设置有两个喷头，喷头环装在喷头上，通过螺母固定喷头，且安装在支架上，用两个螺纹孔固定。所述风刀体上设置有两个喷头，喷头底部为球形，可以自由调节所需的喷射角度。所述风刀体上设有孔。所述支架上设置有两个螺纹孔。所述喷头上的压缩空气喷出口为一字型槽口。本实用新型结构简单、紧凑，合理；通过喷头、喷头环来控制压缩空气的喷射方向、形状、范围从而使硅片很好的分离，并且稳定的悬浮在空中。

主权项

一种干法硅片自动分离机构，其特征是：包括支架（1）、支杆（2）、风刀体（3）、喷嘴体（4）、密封圈（5）、螺母（6）、喷头（7）、喷头环（8）；所述喷嘴体（4）、支杆（2）分别旋入风刀体（3），密封圈（5）装入喷嘴体（4）凹孔内，所述风刀体（3）上设置有两个喷头（7），喷头环（8）装在喷头（7）上，通过螺母（6）固定喷头（7）且安装在支架（1）上。