| 发明名称 | 一种废水排放控制系统以及废水排放系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种废水排放控制系统，包括污水排放管路，此外，还包括工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。这种废水排放系统让化学机械抛光设备废水得到合理排放，不仅降低了废水处理系统的工作压力，还能对工艺水进行回收，降低了系统运行成本的同时节省了资源。本发明还提供一种废水排放系统。 | ||
| 申请公布号 | CN102464359A | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201010531006.3 | 申请日期 | 2010.11.03 |
| 申请人 | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 | 发明人 | 袁晓君 |
| 分类号 | C02F1/00(2006.01)I | 主分类号 | C02F1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 何平 |
| 主权项 | 一种废水排放控制系统，包括污水排放管路，其特征在于，还包括工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 | ||