一种管式PECVD防炉门砸舟装置

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD防炉门砸舟装置，包括炉体，所述炉体主要包含有炉门（1）、内炉壁（4）和外炉壁，所述炉体内设有石墨舟（2）和浆（3），所述石墨舟（2）位于浆（3）上，所述炉门（1）区域设有检测石墨舟的第一光电开关（5），浆（3）的前端和末端分别设有第二光电开关（6）和第三光电开关（7），内炉壁（4）上设有第四光电开关（8），炉门（1）外的外炉壁上加设有一个确认按钮。本实用新型在发生拖舟情况时，炉门不会自动关闭，石墨舟也不会被砸坏，减少了厂家的损失。

主权项

一种管式PECVD防炉门砸舟装置，包括炉体，所述炉体主要包含有炉门（1）、内炉壁（4）和外炉壁，所述炉体内设有石墨舟（2）和浆（3），所述石墨舟（2）位于浆（3）上，其特征是：所述炉门（1）区域设有检测石墨舟的第一光电开关（5），浆（3）的前端和末端分别设有第二光电开关（6）和第三光电开关（7）， 内炉壁（4）上设有第四光电开关（8），炉门（1）外的外炉壁上加设有一个确认按钮。