| 摘要 |
一种化学机械研磨修整器，用于修整一研磨垫且移除附着于该研磨垫的碎屑，包含有一承载体、至少一研磨部以及至少一清洁部。该承载体具有复数个研磨区域及刷拭区域，该研磨区域及该刷拭区域于一环形方向上呈交错排序；该研磨部设置于该研磨区域，用以研磨该研磨垫；该清洁部设置于该刷拭区域，用以刷除该碎屑。据此，本新型藉由该刷拭区域与该研磨区域的交错排序，以该研磨部及该清洁部达到同时研磨该研磨垫及刷除附着于该研磨垫的该碎屑，使该研磨垫经修整后，不需再经过额外的表面清洁程序，节省研磨作业的时间及另行设置一清洁器的成本。 |
