雷射光微影制作装置及其方法

摘要

一种雷射光微影制作装置，其包括：一雷射光源，一光束准直装置，一光束干涉装置，一光束会聚装置，一光照基底。雷射光源发出雷射光，光束准直装置将该雷射光束准直为平行光束。光束干涉装置将该平行光束分为复数光频、光波长相同的相干光束并发生相干干涉。光束会聚装置将该干涉光束会聚，并投射至光照基底上，光照基底对会聚光束感光并记录干涉图样。本发明还提供一种使用该装置制作雷射光微影的方法。本发明提供的雷射光微影装置及制作方法所得到的干涉条纹明暗对比度高，条纹结构细微，光利用效率高。