旋转涂敷装置

摘要

本发明是提供即使内罩盖增大直径仍能简单地调整旋转平衡之旋转涂敷装置。;其解决手段：在内罩盖用盖体14的上面，用小螺丝紧固有爪构件17。此外，在内罩盖13的外周面对应于前述爪构件17处，安装有爪支承构件20。爪支承构件20由卡合部21及平衡配重插装部22所组成，在卡合部21形成有嵌入到母锥状的凹部19之公锥状的凸部23，在平衡配重插装部22则形成有插入平衡配重24的孔25。