黏着夹头装置

摘要

本发明系可以简单的构造而确实安装卸下基板。;本发明系在保持板1之基板侧，设置黏着构件3与变形膜4；该黏着构件3系与基板A之内面A1对向黏着保持，该变形膜4系可以朝与该基板侧面1a交叉之方向出没变形；以该变形膜4之出没变形使黏着构件3之黏着表面3a与基板A抵接黏着，而且藉强制的分离此等两者，可容易地由黏着构件3之黏着表面3a剥离基板A。