旋转基材支撑件及其使用方法

摘要

本发明揭示一种利用旋转基材支撑件处理一基材的方法及设备。于一实施例中，用于处理基材的设备包括一腔室，其中设有一基材支撑组件。该基材支撑组件包括一基材支撑件，其具有一支撑表面及一加热器，该加热器设于该支撑表面下方。一轴部耦接至该基材支撑件，且马达经由一转子(rotor)耦接至该轴部，以使基材支撑件转动。密封块则设于该转子周围并与之形成密封。密封块具有至少一密封垫及至少一通道，沿该密封块与该轴部间的介面设置。各通道耦接有埠口以连接至帮浦。升举机构耦接至该轴部以提升并下降基材支撑件。