| 摘要 |
在将从喷嘴所吐出的液体涂布于工件的液体涂布装置中，将喷嘴与工件之间隙调整成为所希望量之方法，包含：(a)距离测量步骤，藉由与上述喷嘴并设的非接触式距离感测器，测量从该非接触式距离感测器至用来检测与上述喷嘴前端的接触且具有与喷嘴前端相对向之基准面的接触式检测感测器中之上述基准面的距离；(b)喷嘴接触步骤，使上述喷嘴前端抵接于上述接触式检测感测器，而得到喷嘴之位置资讯；(c)距离测量步骤，在涂布描绘开始前，藉由上述非接触式距离感测器，测量从该非接触式距离感测器至上述工件的距离；及(d)调整步骤，根据由上述距离测量步骤(a)及上述喷嘴接触步骤(b)所得到的上述喷嘴与非接触式距离感测器之相对位置资讯，和由上述(c)之距离测量步骤所得到的距离，将喷嘴间隙调整成为所希望之量；可减少因工件起伏或倾斜等之影响，得到喷嘴与非接触式距离感测器在喷嘴间隙方向上的正确相对位置，可正确地调整喷嘴间隙。 |
