雷射加工装置及雷射加工控制装置

摘要

本发明的目的在于获得一种能够使被加工物加工精密度佳且迅速地进行加工的雷射加工装置。;本发明的雷射加工装置系藉由电镜扫描器将雷射光导向被加工物上的照射位置，且射出脉波型的雷射光至成为加工孔的雷射光的照射位置而进行爆射式加工者，其中，具备有：控制部11，以同步于雷射光的照射位置到达至目标照射位置后的电镜扫描器6A、6B的残留振动频率而射出脉波型的雷射光之方式控制以雷射振荡器1所照射的雷射光的照射时序。