气体减量

摘要

本发明系描述一种处理含全氟化合物气流（例如，得自半导体制造加工工具之排出流体）之方法。在一具体实施例中，系使用电浆炬自可电离气体（例如，氮或氩）产生电浆。将该电浆射入反应室内，该反应室可接收水蒸汽流及排出流体。该电离化流将水蒸汽解离成可以与该全氟化合物反应之热H＋及OH－离子。