摘要 |
1. Емкостный преобразователь давления, содержащий неподвижный электрод, токопроводящую мембрану и изолятор между токопроводящей мембраной и неподвижным электродом, неподвижный электрод выполнен с токопроводящим покрытием как минимум на поверхности электрода, обращенной к мембране, отличающийся тем, что неподвижный электрод выполнен на основе плавленого кварца. ! 2. Емкостный преобразователь давления по п.1, отличающийся тем, что токопроводящее покрытие выполнено в виде металлического зеркала. ! 3. Емкостный преобразователь давления по п.2, отличающийся тем, что токопроводящее покрытие выполнено напылением. ! 4. Емкостный преобразователь давления по п.2, отличающийся тем, что в составе металла зеркала присутствует хром. ! 5. Емкостный преобразователь давления по п.2, отличающийся тем, что в составе металла зеркала присутствует никель. |