发明名称 DIFFUSING AGENT COMPOSITION, AND METHOD FOR FORMING AN IMPURITY DIFFUSION LAYER
摘要 A diffusing agent composition contains a condensation product (A) and an impurity diffusion component (B). The condensation product (A) is a reaction product yielded by hydrolyzing an alkoxysilane. The impurity diffusion component (B) is a monoester or diester of phosphoric acid, or a mixture thereof.
申请公布号 US2012122306(A1) 申请公布日期 2012.05.17
申请号 US201113292461 申请日期 2011.11.09
申请人 MORITA TOSHIRO;KAMIZONO TAKASHI;C/O TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 MORITA TOSHIRO;KAMIZONO TAKASHI
分类号 H01L21/22;C09D5/00 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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