发明名称 WHIRLWIND-TYPE OXIDATION COMBUSTION APPARATUS FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR FABRICATION EXHAUST GAS
摘要
申请公布号 KR20120049782(A) 申请公布日期 2012.05.17
申请号 KR20110022517 申请日期 2011.03.14
申请人 ORIENT SERVICE CO., LTD. 发明人 FENG WU LIANG
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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