光学元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种能够稳定地且以高的位置精度形成反射层的光学技术。本发明的光学元件包含起伏结构形成层、第1层和第2层，所述第1层由折射率与所述起伏结构形成层的材料不同的第1材料构成，所述第2层由与所述第1材料不同的第2材料构成，并覆盖所述第1层，所述第2区域的位置上的所述第2材料的量与所述第2区域的表观上的面积之比为零，或者和所述第2子区域的位置上的所述第2材料的量与所述第2子区域的表观上的面积之比相比更小。

主权项

一种光学元件，其具备以下各层：起伏结构形成层，该层具有包含相互邻接的第1区域及第2区域的主面，所述第1区域包含第1子区域及第2子区域，所述第1子区域与所述第2区域邻接，且沿着所述第1区域及第2区域间的边界延伸，所述第2子区域在中间夹着所述第1子区域而与所述第2区域邻接，所述第2区域设有多个凹部或凸部，而且与所述第1区域相比，表面积与表观上的面积之比更大；第1层，该层由折射率与所述起伏结构形成层的材料不同的第1材料构成，至少覆盖所述第2子区域，与所述第2子区域对应的部分具有与所述第2子区域的表面形状对应的表面形状，所述第2区域的位置上的所述第1材料的量与所述第2区域的表观上的面积之比为零，或者和所述第2子区域的位置上的所述第1材料的量与所述第2子区域的表观上的面积之比相比更小；以及第2层，该层由与所述第1材料不同的第2材料构成，覆盖所述第1层，所述第2区域的位置上的所述第2材料的量与所述第2区域的表观上的面积之比为零，或者和所述第2子区域的位置上的所述第2材料的量与所述第2子区域的表观上的面积之比相比更小。