用于光刻系统的图案数据转换器

摘要

一种用于在无掩膜光刻机中根据图案数据曝光目标的方法和系统，该无掩膜光刻机产生用于曝光该目标的多个曝光小束。该方法包括：提供具有向量格式的输入图案数据；渲染和量化该输入图案数据以产生中间图案数据，以及重新取样并且重新量化该中间图案数据以生成输出图案数据。将该输出图案数据供应给该光刻机，并且基于该输出图案数据来调制由该光刻机产生的这些小束。

主权项

一种用于在无掩膜光刻机中根据图案数据曝光目标的方法，所述无掩膜光刻机生成多个曝光小束，用于曝光目标，所述方法包含：提供向量格式的输入图案数据；渲染和量化所述输入图案数据，以生成中间图案数据；重新取样且重新量化所述中间图案数据，以生成输出图案数据；将所述输出图案数据供给所述光刻机；以及基于所述输出图案数据，调制所述光刻机生成的所述小束。