与基片容器存储系统交接的集成系统

摘要

公开了一种存储系统，其包括处在比装载和卸载待处理基片的工具的高度高的高度的存储系统组件。存储系统本地存储一个或多个基片容器。存储系统组件包括多个存储架子，所述多个存储架子中的每个具有有着用于支承容器的架子特征的架子板。多个存储架子中的每个联接至链条以便水平移动，且每个还联接至导轨以向一个或多个位置引导。电机联接至驱动链轮以移动链条，使多个存储架子中的每个沿导轨一起移至所述一个或多个位置。

主权项

一种存储系统，包括：存储系统组件，定位在比用于操纵待处理的基片的工具的高度高的高度处，所述存储系统构造成在所述基片被所述工具处理前或处理后，在本地存储基片的一个或多个容器，所述存储系统组件包括，(a)框体；(b)联接至所述框体的基板，所述基板包括驱动带轮、惰性带轮、带、轨道和电机；(c)多个存储架子，所述多个存储架子中的每一个具有架子板，所述架子板具有用于支承容器的架子特征，并且所述多个存储架子中的每一个联接至所述带以便能实现运动，并且联接至所述轨道以便能实现向一个或多个位置的引导；和(d)位于所述存储系统组件的框体的侧面的固定架子；其中，所述电机联接至所述驱动带轮以移动所述带，使得所述多个存储架子中的每一个沿所述轨道一起移动至所述一个或多个位置，所述轨道的至少一些部分是直线的，一些部分是非直线的，并且这些部分在所述基板上方配置成一个回路。