保持部件形状判定装置和方法、基板处理装置和存储介质

摘要

本申请提供能够可靠且容易地检测出保持部件的形状是否存在异常的保持部件的形状判定装置和方法。在使作为保持部件的叉(3A)前进时，按照使该叉(3A)通过其前方的方式，在叉(3A)的行进方向的侧面设置行传感器(4)。在使叉(3A)相对于行传感器(4)进退时，取得使该叉(3A)的上下方向的位置与叉(3A)的进退方向的位置对应的数据。根据该取得的数据，计算上下方向的位置对上述进退方向的位置取二次微分的值，根据该微分值来判定保持部件的形状有无异常。

主权项

一种保持部件的形状判定装置，其特征在于：在保持并输送基板的保持部件可自由进退地设置于输送基体的基板输送装置中，所述保持部件的形状判定装置判定所述保持部件有无异常，所述保持部件的形状判定装置包括：光检测部，其按照在使所述保持部件前进时该保持部件通过所述光检测部的前方的方式，相对于保持部件的行进方向设置于侧面，并且以光学方式对该保持部件的上下方向的位置和相对于所述进退方向的左右方向的位置中的至少一方进行检测；和数据取得部，在使所述保持部件相对于所述光检测部进退时，取得使该保持部件的上下方向的位置与保持部件的进退方向的位置对应的数据、和使保持部件的左右方向的位置与保持部件的进退方向的位置对应的数据中的至少一方的数据，根据取得的所述数据来判定所述保持部件的形状是否存在异常。