Mikrowellen-ICP-Resonator

摘要

Ein Mikrowellenresonator zur induktiven Erzeugung eines Plasmas (5) wird eingeführt. Der Mikrowellenresonator umfasst eine erste Röhre (4) und eine leitfähige, vorzugsweise metallische Platte (1). Die Röhre (4) ist für das Anschließen an eine Zuführeinrichtung für ein Prozessgas und zum Leiten des Prozessgases ausgebildet und umfasst ein dielektrisches Material. Die leitfähige Platte (1) weist ein erstes, vorzugsweise zylindrisches, Loch (2) auf, das sich von einer ersten Öffnung auf einer ersten Seite der leitfähigen Platte (1) zu einer zweiten Öffnung auf einer der ersten Seite gegenüber liegenden zweiten Seite der leitfähigen Platte (1) erstreckt. Die erste Röhre (4) ist in dem ersten Loch (2) angeordnet. Die leitfähige Platte (1) weist außerdem einen ersten Schlitz (3) auf, der zu der ersten und der zweiten Seite der leitfähigen Platte (1) und zu dem ersten Loch (2) geöffnet ist. Die Erfindung führt außerdem einen Plasmagenerator mit einem solchen Mikrowellenresonator ein.