发明名称 对产品进行在线检测的方法以及装置
摘要 一种对产品进行在线检测的方法,包括如下步骤:(a)在产品进入机台进行加工之后,在该产品的档案文件中写入与该机台唯一对应的机台标签;(b)在工艺流程文件中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检测步骤进行标注;(c)进行至被写入标签的检测步骤时,做出检测指令。本发明还提供了一种对产品进行在线检测的装置。本发明的优点在于,采用的是针对机台的检测方法而不是现有技术中针对样品的检测方法。当一条生产线上某种机台的数目为两个或者两个以上,即存在平行机台的情况下,采用上述方法对平行机台进行监控,可以避免某个或者某些机台长时间内得不到检测,从而提高产品的良率。
申请公布号 CN101738992B 申请公布日期 2012.05.16
申请号 CN200810202776.6 申请日期 2008.11.14
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 杨健;阎海滨;陈思安;吕秋玲
分类号 G05B19/418(2006.01)I 主分类号 G05B19/418(2006.01)I
代理机构 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人 翟羽
主权项 一种对产品进行在线检测的方法,其特征在于,包括如下步骤:(a)在产品进入机台进行加工之后,在该产品的档案文件中写入与该机台唯一对应的机台标签;(b)在工艺流程文件中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检测步骤,在工艺流程文件中采用检测标签对该检测步骤进行标注,所述检测标签与所述机台标签唯一对应;(c)在按照工艺流程文件进行产品加工至检测步骤时,检查工艺流程文件中此检测步骤是否被所述检测标签进行标注,如果此检测步骤已被标注,则做出检测指令,将具有与所述检测标签所对应的机台标签的档案文件所对应的产品送检;(d)为机台设定工作量限额;(e)记录机台的工作量,当机台累积工作量达到工作量限额时,开始执行步骤(a)~(c),以及步骤(f);(f)在执行步骤(a)~(c)的同时将机台的累积工作量记录清零,重复步骤(e)。
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