适用于基板的高速视觉定位装置及其方法

摘要

一种适用于基板的高速视觉定位装置及其方法，该适用于基板的高速视觉定位装置包含：一架体；一暂存区；一定位区；一搬移定位装置，其可移动地设置于该架体上，用以吸取并搬移所述多个基板，其中该搬移定位装置包括一工形吸取头，其用于依序地吸附所述多个基板；至少两个设于该架体上的视觉装置，其对应该工形吸取头，所述至少两个视觉装置用以撷取被该搬移定位装置所吸取的每一基板的影像，以将所述多个基板加以定位；以及承放于该架体上的该载板。

主权项

一种适用于基板的高速视觉定位装置，其用以将多个基板放置于一载板，其特征在于，该视觉定位装置包括：一架体；一设于该架体上的暂存区，所述多个基板暂存于该暂存区；一设于该架体上的定位区，所述多个基板通过一移动平台自该暂存区逐一被移动至该定位区；一搬移定位装置，其可移动地设置于该架体上，用以吸取并搬移所述多个基板，其中该搬移定位装置包括一工形吸取头，其用于依序地吸附所述多个基板；至少两个设于该架体的定位区的视觉装置，其对应该工形吸取头，该移动平台将每一基板运载至所述至少两个视觉装置的下方，所述至少两个视觉装置用以撷取被该搬移定位装置所吸取的每一基板的影像，以将所述多个基板加以定位；以及承放于该架体上的该载板，由此，该搬移定位装置已经过定位的所述多个基板高精度地放置于该载板上。