发明名称 |
保护性涂层、保护基材的方法及其应用 |
摘要 |
通过在基材(1)上沉积包含基本上平行于基材(1)表面取向的上表面(4)的第一层(3)保护基材(1)免受由基材(1)与环境相互作用引起的影响的方法和保护性涂层。该方法包括以下步骤:通过使第一层(3)暴露于两种或多种不同前体交替重复的表面反应而将第二层(5)沉积在第一层(3)上,以用第二层(5)的材料至少部分地填充第一层(3)中的孔隙(7),所述孔隙(7)开口通至上表面(4),以便第二层(5)顺应孔隙(7)的表面形状。 |
申请公布号 |
CN102459702A |
申请公布日期 |
2012.05.16 |
申请号 |
CN201080024931.5 |
申请日期 |
2010.06.01 |
申请人 |
贝尼科公司 |
发明人 |
M·赛康恩;L·古兹曼 |
分类号 |
C23C28/00(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C28/02(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I |
主分类号 |
C23C28/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 |
代理人 |
赵蓉民;陆惠中 |
主权项 |
通过在基材(1)上沉积包含基本上平行于所述基材(1)表面取向的上表面(4)的第一层(3)而保护所述基材(1)免受由所述基材(1)与环境相互作用引起的影响的方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:通过使所述第一层(3)暴露于两种或多种不同前体交替重复的表面反应而将第二层(5)沉积在所述第一层(3)上,以用所述第二层(5)的材料至少部分地填充所述第一层(3)中的孔隙(7),所述孔隙(7)开口通至所述上表面(4),以便所述第二层(5)顺应所述孔隙(7)的表面形状,以及其特征在于所述第一层(3)主要由钛、铝和氮的化合物组成,而所述第二层(5)的材料主要是金属氧化物。 |
地址 |
芬兰万塔市 |