CdTe多晶薄膜后处理用的层叠式石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种CdTe多晶薄膜后处理用的层叠式石墨舟，包括：用于涂覆有CdCl2无水颗粒的凹槽形石墨底座，石墨底座侧面有一用于插入热电偶的孔，石墨底座上嵌套有多个相互嵌套的石墨支撑框，各石墨支撑框之间从下往上依次放置有石墨多孔限流薄片、待后处理的CdTe多晶薄膜片。它最大优点在于：可根据需要相互嵌套多个石墨支撑框，同时对多片CdTe多晶薄膜片进行后处理。CdTe多晶薄膜片固定性好、不易移动、便于控制、重复性好。本实用新型结构合理、方便实用。

主权项

一种CdTe多晶薄膜后处理用的层叠式石墨舟，其特征在于包括：一石墨箱体(1)，位于石墨箱体底部侧面有一用于插入热电偶的凹槽(2)，石墨箱体内放置有石墨矩形底圈(3)，石墨矩形底圈(3)上有多个相互嵌套的石墨矩形支撑圈(4)，底圈(3)和支撑圈(4)的四周与石墨箱体内壁之间留有1‑2mm间隙，石墨箱体上盖有石墨顶盖(8)；所说的石墨矩形底圈(3)和石墨矩形支撑圈(4)的内壁上部有一“L”形台阶(9)，石墨矩形支撑圈(4)的外壁下部有一倒“L”形台阶(10)，用于石墨矩形支撑圈(4)的相互嵌套及石墨矩形底圈(3)的嵌套；底圈(3)与支撑圈(4)、支撑圈(4)与支撑圈(4)的内壁相互嵌套之间留有间隙，用于依次放置石墨源片(7)、石墨多孔限流薄片(5)、待后处理的CdTe多晶薄膜片(6)；如需多片CdTe多晶薄膜片同时处理，再依次往上嵌套石墨支撑圈(4)，各石墨支撑圈之间依次放置石墨源片(7)、石墨多孔限流薄片(5)、待后处理的CdTe多晶薄膜片(6)，如此往复，同时处理CdTe多晶薄膜片的数量由管式炉内的高度决定。