质量分析装置

摘要

关于一种离子检测器，将来自能够独立地控制电压的电源部(21-23)的电压分别施加给二次电子倍增管(10)的第1级-第5级的二次电子发射极(11-15)、最终极的二次电子发射极(16)以及阳极(17)。进一步，除了从阳极(17)取出信号以外，也从电子倍增率低的第5级的二次发射极(15)取出信号，将该2个信号并行地转换为数字值，输入至信号处理部(34)，存储在数据保存部(35)中。在数据处理部(34)中，制作质谱时，读出对于同一时刻的两个检测数据，根据一个检测数据的值，判断信号饱和或波形变形的有无，在信号饱和的危险性高的情况下，基于中间级的信号，选择检测数据，进行等级修正。通过向二次电子倍增管(10)的独立的电压的施加，难以引起信号饱和，且即使在产生饱和时，也可以将没有饱和的信号反映于质谱。

主权项

一种质量分析装置，所述质量分析装置使用电子倍增型检测器作为离子检测器，所述电子倍增型检测器具有：依次倍增电子的多级的二次发射极、和对在所述多级的二次发射极被倍增了的电子进行最终检测的阳极，所述质量分析装置的特征在于，具有：a)供电单元，所述供电单元包含有能够独立地调整电压的至少2个以上的直流电源，以对所述多级的各二次发射极和所述阳极分别施加规定的电压；b)信号输出单元，所述信号输出单元用于取出在所述阳极得到的信号，且取出在所述多级的二次发射极的至少一级得到的信号；以及c)信号处理单元，所述信号处理单元在通过所述供电单元对所述多级的各二次发射极和阳极分别施加电压的状态下，接收通过所述信号输出单元所取出的多个信号，进行以下处理，即逐次选择所述多个信号中的一个，使之反映于质谱的信号强度的处理。