改进的薄膜厚度测量

摘要

本发明描述了一种用于确定基底上的薄膜厚度的方法。所述基底具有第一主表面和相对的第二主表面，并且所述薄膜覆盖所述第一主表面的一部分。在第一测量步骤期间，采用所述第一测量射束来确定从第一基准点到所述基底的所述第一主表面的未被薄膜覆盖的部分的距离，并且采用第二测量射束来确定从第二基准点到所述基底的所述第二主表面的未被薄膜覆盖的部分的距离。在第二测量步骤期间，采用所述第一测量射束来确定从所述第一基准点到所述薄膜的距离，并且采用所述第二测量射束来确定从所述第二基准点到所述基底的所述第二主表面的未被薄膜覆盖的部分的距离。在将墨施加到汽车玻璃嵌板的方法中可以采用所确定的薄膜厚度作为控制参数。

主权项

一种用于确定基底上的薄膜厚度的方法，所述基底具有基本上恒定的厚度并且具有第一主表面和相对的第二主表面，其中，所述薄膜覆盖所述第一主表面的一部分，所述方法包括以下步骤：相对于所述基底设置第一传感器，所述第一传感器布置成用于将第一测量射束引导到所述基底的所述第一主表面上；相对于所述基底设置第二传感器，所述第二传感器布置成用于将第二测量射束引导到所述基底的所述第二主表面上；第一测量步骤和第二测量步骤；所述第一测量步骤包括：采用所述第一测量射束来确定从第一基准点到所述基底的所述第一主表面的未被薄膜覆盖的部分的距离，并且采用第二测量射束来确定从第二基准点到所述基底的所述第二主表面的未被薄膜覆盖的部分的距离；并且所述第二测量步骤包括：采用所述第一测量射束来确定从所述第一基准点到所述薄膜的距离，并且采用所述第二测量射束来确定从所述第二基准点到所述基底的所述第二主表面的未被薄膜覆盖的部分的距离。