镀膜件及其制备方法

摘要

本发明提供一种镀膜件，其包括基材及形成于基材表面的透明导电薄膜，该透明导电薄膜为Me和氮共掺杂的AZO薄膜，其中Me为钛、锡、铟及锑中的两种或两种以上。本发明所述镀膜件的透明导电薄膜通过在AZO薄膜中同时引入金属钛、锡、铟及锑中的两种或两种以上，通过Ti4+、Sn4+、In3+及Sb5+中的两种或两种以上取代部分Zn2+，产生自由电子，从而获得更高的导电率，该透明导电薄膜具有良好的稳定性，可有效地提高镀膜件的使用寿命；另外该透明导电薄膜还同时引入了非金属氮，使透明导电薄膜中形成金属氮氧化物，从而提高了透明导电薄膜的硬度和耐磨性。此外，本发明还提供一种上述镀膜件的制备方法。

主权项

一种镀膜件，其包括基材及形成于基材表面的透明导电薄膜，其特征在于：该透明导电薄膜为Me和氮共掺杂的掺铝氧化锌薄膜，其中Me为钛、锡、铟及锑中的两种或两种以上。