| 发明名称 | 蒸发系统和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种蒸发系统和方法。蒸发系统适合于将薄膜沉积到衬底上。沉积系统包括适合于承载衬底的衬底托架和至少一个倾斜的蒸发坩埚。至少一个倾斜的蒸发坩埚适合于将蒸发的沉积材料沿着主散发方向朝着衬底指向。倾斜的蒸发坩埚的主散发方向与垂直于衬底的方向不同。 | ||
| 申请公布号 | CN102453872A | 申请公布日期 | 2012.05.16 |
| 申请号 | CN201110343338.3 | 申请日期 | 2011.10.27 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 菲利普·玛瑞尔;斯万·斯拉莫;安德里亚斯·鲁普;安德里亚斯·克劳普尔 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种用于将薄膜沉积到衬底上的沉积系统，所述沉积系统包括：衬底托架，其适合于承载所述衬底；以及至少一个倾斜的蒸发坩埚，其适合于将所述沉积材料沿着主散发方向朝着所述衬底指向，其中所述倾斜的蒸发坩埚的所述主散发方向与垂直于所述衬底的方向不同。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||