发明名称 |
长晶炉的供气装置 |
摘要 |
本发明的长晶炉的供气装置,主要提供长晶炉一种能够有效降低杂质浓度,藉以提升晶体质量的供气装置;所述的供气装置包括有:一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管,以及若干设于绝热层的排气孔;其中,输气管的管口处设有一组可供调整角度的导流罩,使熔汤的自由表面得以同步接受导引气流的吹拂作用,而加速将杂质带离自由表面的速率,以有效降低杂质浓度,藉以提熔汤冷却固化后的晶体质量。 |
申请公布号 |
CN102453952A |
申请公布日期 |
2012.05.16 |
申请号 |
CN201010512687.9 |
申请日期 |
2010.10.20 |
申请人 |
中央大学 |
发明人 |
陈志臣;邓应扬;吕中伟;陈学亿 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京申翔知识产权代理有限公司 11214 |
代理人 |
艾晶;周春发 |
主权项 |
一种长晶炉的供气装置,包括有:一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管,以及若干设于绝热层的排气孔;其特征在于:该输气管的管口处设有一组可供调整角度的导流罩。 |
地址 |
中国台湾桃园县中坜市五权里2邻中大路300号 |