发明名称 长晶炉的供气装置
摘要 本发明的长晶炉的供气装置,主要提供长晶炉一种能够有效降低杂质浓度,藉以提升晶体质量的供气装置;所述的供气装置包括有:一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管,以及若干设于绝热层的排气孔;其中,输气管的管口处设有一组可供调整角度的导流罩,使熔汤的自由表面得以同步接受导引气流的吹拂作用,而加速将杂质带离自由表面的速率,以有效降低杂质浓度,藉以提熔汤冷却固化后的晶体质量。
申请公布号 CN102453952A 申请公布日期 2012.05.16
申请号 CN201010512687.9 申请日期 2010.10.20
申请人 中央大学 发明人 陈志臣;邓应扬;吕中伟;陈学亿
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B11/00(2006.01)I
代理机构 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 代理人 艾晶;周春发
主权项 一种长晶炉的供气装置,包括有:一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管,以及若干设于绝热层的排气孔;其特征在于:该输气管的管口处设有一组可供调整角度的导流罩。
地址 中国台湾桃园县中坜市五权里2邻中大路300号