多晶炉红外测温装置及采用多晶炉红外测温装置的多晶炉

摘要

一种多晶炉红外测温装置，包括温度计基架、第一镜、第二镜、螺塞、石英棒、检测套杆、红外测温仪、元件承载部。温度计基架固定在多晶炉的腔体的上法兰上，其中，温度计基架包括固定在腔体上法兰上的固定座、固定在固定座上的观察筒及固定在观察筒上的密封座，其中固定座的中心开设有观察孔及穿入孔，观察筒与观察孔同心设置，密封座的通孔与观察筒的观察孔同心设置，第一镜安装在密封座的通孔内。螺塞旋在温度计基架的固定座上，且与固定座上的穿入孔同心。元件承载部设置在在温度计基架上，将第二镜、红外测温仪置于密封座正上方。本实用新型还提供一种采用该多晶炉红外测温装置的多晶炉。

主权项

一种多晶炉红外测温装置，其特征在于：多晶炉红外测温装置包括温度计基架、第一镜、第二镜、螺塞、石英棒、检测套杆、红外测温仪、元件承载部；温度计基架固定在多晶炉的腔体的上法兰上，其中，温度计基架包括固定座、观察筒及密封座，固定座固定在腔体的上法兰上，固定座的中心开设有观察孔及穿入孔，观察筒的一端固定在固定座上且与观察孔同心设置，密封座固定在观察筒的另一端；密封座上开设有通孔，且通孔与观察筒的观察孔同心设置，第一镜安装在密封座的通孔内；螺塞旋在温度计基架的固定座上，且与固定座上的穿入孔同心；石英棒穿过螺塞及穿入孔后插在石英坩埚中；检测套杆通过卡箍与温度计基架的观察筒连通；元件承载部设置在在温度计基架上，用于承载第二镜、红外测温仪，且将第二镜、红外测温仪置于密封座正上方。