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Auf zumindest einer Oberfläche (12a) eines zweiten Substrats (12), das sich aus Keramik zusammensetzt, wird eine dünne Metallschicht (23) ausgebildet, und mit dem zweiten Substrat (12) wird über die dünne Metallschicht (23) ein erstes Substrat (21) verbunden, das sich aus einem Gruppe-13-Nitrid zusammensetzt. Da die dünne Metallschicht (23) im Allgemeinen eine höhere Wärmeleitfähigkeit als dünne Oxidschichten hat, kann verglichen mit einem Fall, in dem das erste Substrat (21) über eine dünne Oxidschicht verbunden wird, ein Verbundsubstrat (10) mit hoher Wärmeabgabe hergestellt werden. Darüber hinaus ist kein Abdiffusionsschritt erforderlich, da keine dünne Oxidschicht verwendet wird, wodurch sich der Prozess vereinfacht. |
