| 发明名称 | 涂布设备和涂布方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及涂布设备，其包括至少一个接收部，该接收部可以被抽空并且用于接收基底，至少一个气体供应装置，通过该气体供应装置至少一种气态前体可被引入至接收部，和至少一个可加热的活化部件，该活化部件具有可预定的纵向区域并且通过至少一个专用的机械固定装置相对于接收部几乎不可移动地被固定。通过至少两个接触部件电流被供应到活化部件，至少一个该接触部件被设计成与活化部件在多个改变的接触点上接触。本发明还涉及相应的涂布方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102459694A | 申请公布日期 | 2012.05.16 |
| 申请号 | CN201080024586.5 | 申请日期 | 2010.05.13 |
| 申请人 | 费劳恩霍夫应用研究促进协会 | 发明人 | T·哈里希;M·霍弗;A·劳卡特;L·谢弗;M·阿尔姆戈特 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;C23C16/28(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 于辉 |
| 主权项 | 涂布设备(1)，其包括至少一个接收部(10)，该接收部(10)可以被抽空并且用于接收基底(30)，至少一个气体供应装置(20，21，22)，通过该气体供应装置(20，21，22)至少一种气态前体可被引入至接收部(10)，和至少一个可加热的活化部件(40)，该活化部件(40)具有预定的纵向区域并且通过至少一个专用的机械固定装置(44)相对于接收部(10)几乎不可移动地被固定，其特征在于，通过至少两个接触部件(43)将电流供应至活化部件，而且所述接触部件(43)中的至少一个被设计成能够与活化部件(40)在多个改变的接触点处接触。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||